セラミックス窒化物薄膜の創製および微細構造制御

2015-3-13 · 性・電気磁気的特性・光学的特性・熱的特性・物理的特性・化学的特性・装飾特性があげら れる.セラミックス 硬質薄膜は工具,金型,機械部品を対象とし耐磨耗性 ...

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